微量α線測定 | 株式会社クリアライズ

特長

・ソフトエラーの原因となる、半導体構成材から発生する極微量なα線を、最高で測定下限値0.002(カウント/cm²・h)の低エネルギー領域から
高精度で測定可能です。
・エネルギー分析型α線測定装置を使用しており、ガスフロー方式では測定できない核種分析が可能です。

測定事例

（1）　LSI（高集積回路）分野：LSI内使用材料の不純物管理

●α線がLSIチップのメモリセルに入射することにより、LSIチップ内での電離作用によってメモリ反射 (ソフトエラー)が生じる事象があり、
LSIチップを使用する機器の誤動作となり、場合よっては使用設備の損傷につながります。
●ＩＣの微細化・高性能化が進むなかで、構成材料から放出されるα線をより高精度に管理することが求められています。
●微量α線測定装置“KS-1000”を使用することにより、材料から放出されるα線の強さと、その量を同時に評価でき、合理的な材料評価が可能になります。

[α線の発生を管理する構成材]
・パッケージ：封止樹脂/はんだ
・チップ　　：配線材料AI/Cuなど

[微量α線測定例]

[必要試料量（目安）]
　測定面積：169㎠（試料ステージ：13㎝×13㎝）、厚み2㎜以内とした場合の必要試料量の目安を以下に示します。

対象物	必要量の目安
半導体チップ	チップ200～300個（大きさによります）重量：30g～40g程度
粉体（酸化物,水酸化物,窒化物）	かさ体積：20cm³程度、重量：10g程度（比重による）
粉体（金属）	かさ体積：20cm³程度、重量：30g程度（比重による）
粗粒（金属,ガラス,樹脂ペレット等）	粒径：2mm未満、かさ体積：40cm³程度
板材（金属,セラミック,ガラス等）	厚さ：2mm未満、面積：169cm²以上
フィルム,シート等	厚さ：2mm未満、面積：169cm²以上

（2）　自然環境: 河川水の蒸発乾固試料、土壌の直接測定

●測定試料を薄くすることで土壌の直接測定による放出α線ピーク検出が可能です。
●河川水を蒸発乾固し、化学的前処理なしでの直接測定が可能です。
●試料の直接測定が可能となり、早い分析結果が得られ、分析の省力化、汚染管理などの緊急時モニタに有効です。

（3）　放出管理及び緊急時モニタリング:　大気中塵埃の測定

●ハイボリュームサンプラー[大口径フィルターでの捕集]の捕集フィルターを直接測定可能。
●α線放出核種の放出管理、緊急時のモニタリングに有効です。

測定単価

分析項目	単価/検体	備考
前処理	¥25,000	微粉体
前処理	内容により変動	切断、チップ粉砕処理等
前処理(篩分け)	¥15,000
前処理(静電気除去)	¥10,000
微量α線測定(24h積算法)	¥120,000	目安下限値:0.02 count/(cm²·h)
微量α線測定(48h積算法)	¥170,000	目安下限値:0.01 count/(cm²·h)
微量α線測定(200h積算法)	¥460,000	目安下限値:0.005 count/(cm²·h)
微量α線測定(400h積算法)	¥900,000	目安下限値:0.003 count/(cm²·h)
微量α線測定(800h積算法)	別途お見積り	目安下限値:0.002 count/(cm²·h)
α線核種解析	¥31,500～	ー

装置仕様

HITACHI　核種分析型αカウンター　KS-1000

[装置仕様]

機能　　　　　2~9MeVのαスペクトル計測

分解能　　　　半値幅200keV(241Am5.49MeV)

測定下限値　　0.002カウント/cm²・h〔試料寸法：130mm×130mm平板〕

検出器　　　　シリコン半導体式放射線検出器

入力電源　　　AC100V±10％（50・60Hz）,5.5A

　　　　測定試料挿入部と挿入時内観

※上記装置の販売も行っております。装置購入をご検討の際はお問い合わせください。

FAQ（よくあるご質問）

Ｑ測定可能な試料形状は？+

Ａ粉体であれば、20～30g程度を試料台に薄く敷き詰めることで測定可能です。板状、フィルム上の試料は、厚さ2mm以下、13cm×13cmで測定可能です。(小さな試料を何枚か並べて測定することや、大きな試料はカットして測定することも可能です。)

Ｑ液状試料の測定は可能か？+

Ａ液体試料を試料台に適量流し込み、真空乾燥器等で水分を除去してから測定することは可能です。

Ｑ測定下限値をもっと下げて測定したい。+

Ａ測定時間を長くすることで測定下限値を下げることができます。通常200h測定で測定下限値が0.005count/(cm2・h)程度ですが、450h測定することで、測定下限値を0.002count/(cm2・h)程度にすることが可能です。

Ｑα線核種の同定は可能か？+

Ａ本装置はα線エネルギー分布型測定装置ですので、α線核種の同定は可能です。但し、含有するα線核種の強度が低く、ピーク位置の判別が難しい場合は同定できないこともあります。

Ｑトータルα線量の測定は可能か？+

Ａ本装置はα線エネルギー分布型測定装置ですので、α線エネルギー範囲ごとのα線量[count/(cm2・h)]が得られます。自然界に存在するα線核種の大部分は、崩壊系列を有する天然α線核種であり、これらから放出されるα線のエネルギーは概ね4MeV～10MeVの範囲に分布しております。そのため、本装置により測定される4MeV～10MeVのエネルギー範囲におけるα線量を、トータルα線量として評価しております。