(1) LSI(高集積回路)分野:LSI内使用材料の不純物管理
●α線がLSIチップのメモリセルに入射することにより、LSIチップ内での電離作用によってメモリ反射 (ソフトエラー)が生じる事象があり、
LSIチップを使用する機器の誤動作となり、場合よっては使用設備の損傷につながります。
●ICの微細化・高性能化が進むなかで、構成材料から放出されるα線をより高精度に管理することが求められています。
●微量α線測定装置“KS-1000”を使用することにより、材料から放出されるα線の強さと、その量を同時に評価でき、合理的な材料評価が可能になります。
[α線の発生を管理する構成材]
・パッケージ:封止樹脂/はんだ
・チップ :配線材料AI/Cuなど
[微量α線測定例]
[必要試料量(目安)]
(2) 自然環境: 河川水の蒸発乾固試料、土壌の直接測定
●測定試料を薄くすることで土壌の直接測定による放出α線ピーク検出が可能です。
●河川水を蒸発乾固し、化学的前処理なしでの直接測定が可能です。
●試料の直接測定が可能となり、早い分析結果が得られ、分析の省力化、汚染管理などの緊急時モニタに有効です。
(3) 放出管理及び緊急時モニタリング: 大気中塵埃の測定
●ハイボリュームサンプラー[大口径フィルターでの捕集]の捕集フィルターを直接測定可能。
●α線放出核種の放出管理、緊急時のモニタリングに有効です。