構造解析
結晶構造解析
結晶構造解析 概要
結晶構造解析では、主にＸ線回折(XRD)を用い材料の結晶構造を調査いたします。
結晶構造解析
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X線回折(XRD)
化合物種の同定、結晶子径解析、格子定数解析
装置の詳細・事例
Ｘ線回折(ＸＲＤ)
1. 概要
Ｘ線を照射して物質特有の角度に回折(反射)するＸ線を捕えることにより、化合物種同定や結晶構造解析が可能です。評価可能な材料は、粉末・バルク材・微小異物・薄膜・単結晶・ナノ粒子等多岐に亘ります。
2. 特長
- • 化合物種の同定や定量分析
- • 微小異物の化合物種同定（≧50μmφ）
- • 極薄膜の結晶構造解析（≧5nm）
- • 材料の結晶系・結晶粒径・格子定数解析
- • 残留応力・結晶化度・結晶配向状態解析
- • 大気非曝露環境下（露点-100℃）での測定
- • 試料高温条件下（≦1400℃）での測定
- • 薄膜積層体の密度・膜厚・ラフネス評価
- • ナノ粒子の粒径・分布測定
3. 主な用途
様々な目的に対応可能な測定機種とアタッチメントを用いて、多様なニーズにお応えします。
| 広角Ｘ線回折 | 粉末・バルク材の評価（定性・定量・結晶構造解析） |
| 薄膜Ｘ線回折 | 薄膜材料・試料表面の定性分析 |
| 面内Ｘ線回折 | 極薄膜材料・試料極表面の結晶構造解析（In-Plane回折） |
| ロッキングカーブ | 結晶配向状態の評価（回折強度の１次元分布） |
| 極点図形 | 結晶配向状態の評価（回折強度の２次元分布） |
| 大気非暴露Ｘ線回折 | 不活性ガス下での評価（露点：ー100℃） |
| Ｘ線残留応力 | バルク材料・薄膜材料の応力値評価 |
| 高温Ｘ線回折 | 試料高温下での評価（室温～1400℃） |
| 微小部Ｘ線回折 | 微小・微量試料の評価（定性・定量・結晶構造解析）（最小50μmφ） |
| 微小部残留応力 | 微小・微量試料の応力値評価 （最小50μmφ） |
| 微小部極点図形 | 微小・微量試料の配向状態評価 （最小50μmφ） |
| Ｘ線回折２結晶法 | 単結晶・強配向材料の高分解能測定（半値幅：数10sec） |
| Ｘ線回折４結晶法 | 単結晶・強配向材料の超高分解能測定（半値幅：数sec） |
| 逆格子マッピング | 回折強度の高分解能２次元マッピング |
| Ｘ線反射率 | 薄膜・薄膜積層体各層の膜厚・密度・ラフネス評価 |
| Ｘ線小角散乱 | ナノ粒子・ナノポア材料の粒径分布解析 |
4. 分析事例
① 鋼板上に生成した腐食生成物
② 基板上に付着した微小異物
③ライン＆スペースパターンのピッチ解析（微小角入射X線小角散乱）
① 鋼板上に生成した腐食生成物
② 基板上に付着した微小異物
③ライン＆スペースパターンのピッチ解析（微小角入射X線小角散乱）
0120-283-150