結晶構造解析では、主にX線回折(XRD)を用い材料の結晶構造を調査いたします。
X線回折(XRD)
化合物種の同定、結晶子径解析、格子定数解析
X線を照射して物質特有の角度に回折(反射)するX線を捕えることにより、化合物種同定や結晶構造解析が可能です。評価可能な材料は、粉末・バルク材・微小異物・薄膜・単結晶・ナノ粒子等多岐に亘ります。
様々な目的に対応可能な測定機種とアタッチメントを用いて、多様なニーズにお応えします。
広角X線回折 | 粉末・バルク材の評価(定性・定量・結晶構造解析) |
薄膜X線回折 | 薄膜材料・試料表面の定性分析 |
面内X線回折 | 極薄膜材料・試料極表面の結晶構造解析(In-Plane回折) |
ロッキングカーブ | 結晶配向状態の評価(回折強度の1次元分布) |
極点図形 | 結晶配向状態の評価(回折強度の2次元分布) |
大気非暴露X線回折 | 不活性ガス下での評価(露点:ー100℃) |
X線残留応力 | バルク材料・薄膜材料の応力値評価 |
高温X線回折 | 試料高温下での評価(室温~1400℃) |
微小部X線回折 | 微小・微量試料の評価(定性・定量・結晶構造解析)(最小50μmφ) |
微小部残留応力 | 微小・微量試料の応力値評価 (最小50μmφ) |
微小部極点図形 | 微小・微量試料の配向状態評価 (最小50μmφ) |
X線回折2結晶法 | 単結晶・強配向材料の高分解能測定(半値幅:数10sec) |
X線回折4結晶法 | 単結晶・強配向材料の超高分解能測定(半値幅:数sec) |
逆格子マッピング | 回折強度の高分解能2次元マッピング |
X線反射率 | 薄膜・薄膜積層体各層の膜厚・密度・ラフネス評価 |
X線小角散乱 | ナノ粒子・ナノポア材料の粒径分布解析 |