表面分析

表面分析概要

材料やデバイスの表面や粒界の介在物、不純物分析から、酸化、吸着、汚染状態など化学的結合状態を調査いたします。
 
材料の極表層(数nm)分析から数百μm程度の深さ方向の分析が可能です。

構造分析